THYRACONT VSR53D真空计是用于测量真空度或气压的精密仪器,通过检测气体压力变化确定真空环境状态,广泛应用于科研、工业生产及医疗等领域。
THYRACONT VSR53D真空计基于不同气压下气体的物理效应变化进行测量,按原理可分为三大类:
力学性能类
波尔登规:利用弯曲成圆弧状的金属管(波尔登管)受气压影响产生偏转,通过指针显示压力值,适用于粗真空测量(如10³-10⁻¹Pa)。
薄膜电容规:通过弹性薄膜在压差下变形改变电容值,测量范围广(大气压至10⁻⁴Pa),精度高,常用于半导体制造。
气体动力学效应类
皮拉尼电阻规:利用气体热传导与压力的关系,通过热敏电阻温度变化计算压力,适用于中等真空(5×10⁻⁴-1000 mbar),如光伏镀膜行业。
热电偶规:原理类似皮拉尼规,但通过热电偶测量温度,成本较低,但精度和响应速度稍逊。
带电粒子效应类
热阴极电离规:通过电子碰撞气体分子产生离子流,离子流强度与压力成正比,适用于高真空(10⁻³-10⁻¹⁰Pa),如分子束外延(MBE)设备。
冷阴极电离规:利用磁场约束电子,无需加热阴极,适用于强辐射环境(如核聚变装置)。
更多访问:
http://www.sdzfgy.com/Products-34506354.html
https://www.chem17.com/st439928/product_34506354.html
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